Vakuumenheten är sammansatt av olika vakuumkomponenter och det är ett avgassystem utan vakuumkammare. Vakuumenheterna är uppkallade efter huvudpumpen. För närvarande inkluderar inhemska vakuumenheter främst oljediffusionspumpenheter, oljeboosterpumpenheter och Rötter pump enheter.

Huvudpumparna i lågvakuumpumpenheten är vanliga fram- och återgående vakuumpumpar, oljetäta vakuumpumpar, vattenångstrålepumpar, vattenringpumpar, molekylsiladsorptionspumpar, oljeångstrålepumpar, Rootspumpar, etc. Huvuddragen för lågvakuumpumpenheten är högt arbetstryck och stor avgasbassäng, men pumphastigheten är relativt låg. Det används mest för grov pumpning av vakuumkammare och vakuumtransport, vakuumimpregnering, vakuumfiltrering, vakuumtorkning, vakuumavgasning och andra enheter med stor luftutsläpp och högt arbetstryck. När du använder en lågvakuumutsugsenhet är det också nödvändigt att matcha de nödvändiga dammuppsamlarna, torktumlare och andra komponenter i enlighet med renhet, fuktighet eller andra speciella krav för den extraherade gasen.

Den medium vakuumoljeboosterpumpenheten används för att få ett arbetstryck på 1~10-1Pa. Den ultimata vakuumgraden är 10-2Pa. Den består av oljeboosterpump, vakuumventil, fälla, lågvakuumavstängningsventil, luftutsläppsventil, rörledning, elektrisk kontrollpanel, vattentrycksrelä och andra komponenter.

Arbetsvakuumgraden för Roots-pumpenheten för mediumvakuum är 1~103Pa. Den ultimata vakuumgraden är 10-1Pa. Andra komponenter är samma som oljeboosterpumpenheten.

Arbetsvakuumgraden för högvakuumpumpenheten är 10-2~10-3Pa, och dess slutliga vakuumgrad är 10-4Pa. Enhetens huvudpump är vanligtvis oljediffusionspump, diffusionsboosterpump, molekylär pump, titanpump, lågtemperaturkondensatpump etc. Dessa pumpar kan inte arbeta direkt med atmosfären och kräver en förpump eller förunderhållspump. Vissa högvakuumutsugsenheter för diffusionspumpar är också utrustade med en luftlagringstank i försteg för att förhindra lufttrycksfluktuationer och förbättra enhetens prestanda.

Den ultrahöga vakuumpumpenheten arbetar vid 10-6~10-8Pa. Utöver kravet att materialet i vakuumkammaren har en mycket låg utgasningshastighet, en liten luftläckagehastighet och tål högtemperaturgräddning vid 200-450 ℃, är kraven för enheten som följer: det ultimata vakuumet av huvudpumpen bör vara hög, minst 10-7~ Över 10-8Pa. Huvudpumpen har en viss pumphastighet inom arbetstrycksområdet för ultrahögt vakuum. Partialtrycket för återflödesgasen från huvudpumpen bör vara tillräckligt lågt; huvudpumpen med stark selektivitet för gasen som ska pumpas bör vara utrustad med en tillräckligt stor hjälppump; materialval och tätning av rör, ventiler och andra komponenter ovanför luftintaget på enhetens huvudpump Var särskilt försiktig. I allmänhet används rostfritt stål med lägre gasutlopp och metalltätningsringar.